위원회결정사항
Pressure Controller; 649B
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물품설명
ㅇ 물품 개요 - 반도체 제조공정에서 가스의 압력을 자동으로 제어하는 물품으로 진공 챔버 내에서 웨이퍼의 표면 온도를 냉각시키는 가스 공급라인 및 VTM*(Vacuum Transport Module) 가스 공급라인에 장착되어 가스의 압력을 일정하게 자동 조절하는 물품 * VTM : 진공환경을 유지한 상태에서 ...
결정이유
ㅇ 관세율표 제90류 주 제7호에서 제9032호는 “가. 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량(變量)의 자동제어용 기기나 온도의 자동제어용 기기(자동제어하여야 할 요소에 따라 변화하는 전기적 현상으로 작동하는 것인지에 상관없으며 지속적으로나 주기적으로 이 요소의 실제 값을 측정하여 이 요소를 장해가...