KAWASAKI FI ROBOT , 3NS410B-A205, 3NX510B-D001; JAPAN

반도체 제조 공정 중 CVD공정(화학기상증착 공정)에서 AMAT Producer, AMAT Centura Ultima 장비에 장착되는 Wafer를 핸들링 하는 기기 - 작동 순서 1) Load Port에 장착되어 있는 FOUP(Wafer 케이스)에서 Wafer를 ARM을 이용해 들어올림 2) 들어올린 Wafe...