품목분류사례
PELLICLE FRAME; BP9A54; 9-BP 196*196*3.20; R.KOREA
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물품설명
가로 196㎜, 세로 196㎜ 크기의 모서리가 둥글게 처리된 정사각형 형상의 알루미늄제 프레임(높이 3.2㎜) - 용도 : 반도체 노광공정에서 반도체에 회로모형을 드로잉하는 기기에 장착되어 마스크를 보호하기 위하여 사용되는 pellicle의 프레임
결정이유
- 본건 물품은 반도체 제조공정 중 노광공정 상 발생하는 가스, 분진 등 기타 이물질로부터 포토마스크를 보호하기 위하여 사용되는 pellicle의 프레임부를 형성하는 물품임. - Pellicle은 반도체 제조공정에서 포토마스크 또는 레티클과 결합하여 사용되는 물품으로서 포토마스크나 레티클이 먼지 등에 오염되지...