MASS FLOW CONTROLLER(MFC); FC-PAR7800 SERIES; JP;

- 반도체 제조 공정 중 웨이퍼의 식각 및 증착에 사용하는 가스를 일정하게 공급해주는 유량 자동조절기기로, 유량센서, 솔레노이드 밸브, PCBA 등으로 구성됨 - 장착위치 : 반도체 제조설비의 Gas Box(IGS 판넬) 내부 - 유량 조절범위 : 10sccm* ∼ 200slm * Standard cubic ...

ㅇ 관세율표 제9032호에는 '자동조절용이나 자동제어용 기기'가 분류되고 소호 제9032.89호에는 액압식이나 공기식이 아닌 '그 밖의 자동조절용이나 자동제어용 기기'가 세분류됨. - 같은 호 해설서에 “이 호에 포함되는 것으로 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기나 온도의 자동 ...