FLOW CONTROLLER (LJTH-010169-6); FC2W504-02-X101-G; JP;

- 물품개요 · 반도체 웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 기기(Sawing Machine, DFD6340)에 장착되어 절단 공정에 사용되는 물의 공급을 조절하는 유량 컨트롤러 - 내부 구성 · 측정부 : 카르만 와류식* 원리를 이용하여 물의 유량 감지 · 제어회로 : 전원공급, 측정부에서 측정한 값을 증폭하고 처...

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