MASS FLOW CONTROLLER(MFC); FC-773 SERIES; JP

- 반도체 제조 시 웨이퍼의 식각 및 증착 공정에 사용되는 가스의 유량을 자동 조절하는 기기로서 내부에 유량센서, PCBA, 솔레노이드 밸브 등으로 구성됨 - 장착위치 : 반도체 제조 설비의 Gas Box(IGS 판넬) 내부 - 주요 구성요소 및 기능 ① 유량센서 : 가스 유입에 따른 온도차를 이용해 유량감지...

- 관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되고 소호 제9032.89호에는 액압식이나 공기식이 아닌 그 밖의 자동조절용이나 자동제어용 기기가 분류됨 ․ 같은 호 해설서에서는 이 호에 포함되는 것으로 “액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기나 온도의 자동 제어...