품목분류사례
Machines and apparatus for the manufacture of wafers; apparatus for cleaning wafer(SC300)
이미지
물품설명
반도체 웨이퍼를 제조하는 과정에서 웨이퍼를 연마 후 여러 가지 화학용액(과산화수소, 암모니아, 불산 등)을 이용하여 Wafer의 표면에 붙어있는 표면의 초미세입자, 유기물, 무기물 및 금속이온 오염물질 등을 세척하는 장비 ※ 구성요소 및 기능 ·Main body - Load port : 연마장비에서 넘어온 ...