품목분류사례
Ceramic wares for other technical uses; AKT8.6G SUSCEPTOR CENTER PIN; MCS-CR-0177
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물품설명
ㅇ 알루미나를 압축, 성형하여 소성(1,600℃)을 한 상아색계 막대 형상의 세라믹제품 끝에 알루미늄 헤드를 결합한 것(모스 경도 9 이상) - 반도체 CVD 공정에서 Susceptor의 중심부에 위치하여 상하 이동을 통해 실리콘 웨이퍼를 받쳐주는 역할 ㅇ 진공 Chamber 사용온도 : 400~500℃ ㅇ ...