품목분류사례
EQUIPMENT FOR PREVENTION OF STATIC ELECTRICITY; eFLOW; 1000SL-3L-U4C
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물품설명
ㅇ 물품 개요 - 반도체 웨이퍼 세정 장비에 연결되어 세정용수로 사용되는 초순수의 비저항을 낮추기 위해, Membrane 모듈에서 CO2 가스를 기체투과막을 통해 초순수에 용해시킨 액체와 바이패스된 초순수를 혼합하여, 비저항을 정밀하게 제어한 후 세정 장비에 공급하는 기능을 수행하는 대전방지장치 ㅇ 주요 구성...