반도체 제조용 건식식각 장비(TCP9400PTX)에 장착되어 식각공정에 필요한 가스의 공급을 조절하는 용도에 사용되는 장치로서, Tank Facility로부터 공급받은 가스를 PM(Process Module)으로 정밀하게 조절하여 공급함 Manual shut off valve, Regulator, Pr...
결정이유
- 관세율표 제16부 주 제1호 타목에서 이 부에서 제외하는 것으로 “제90류의 물품”을 규정하고 있으며, · 같은 부 해설서 총설에서 “이 부에는 제16부의 주나 제84류와 제85류의 주의 규정에 의하여 제외하는 것과 다른 부에 보다 구체적으로 열거한 물품을 제외한 여러 가지의 기계류와 전기기기와 이들의 부...
