제84.86호 — 3개 소호
HSK
8486 반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품
100000보울(boule)이나 웨이퍼(wafer) 제조용 기계와 기기
200000반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기
900000부분품과 부속품