| 8486 | | | 반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품 |
| | 10 | | 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer) 제조용 기계와 기기 |
| | | 1000 | 스핀 드라이어(원심분리방식으로 한정한다) |
| | | 2000 | 단결정 보울(boule)을 성장시키는 기계 |
| | | 3011 | 세번 |
| | | 19 | 세번 |
| | | 20 | 웨이퍼 가공용의 연마기ㆍ광택기(래핑기를 포함한다) |
| | | 90 | 기타 |
| | | 4011 | 세번 |
| | | 19 | 세번 |
| | | 21 | 세번 |
| | | 29 | 세번 |
| | | 5010 | 저항가열식의 노(爐)와 오븐 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 30 | 그 밖의 노(爐)와 오븐 |
| | | 9000 | 기타 |
| | 20 | | 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기 |
| | | 1000 | 스핀 드라이어(원심분리방식으로 한정한다) |
| | | 2100 | 저항가열식의 노(爐)와 오븐 |
| | | 2210 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 2310 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 3000 | 반도체재료 도핑용 이온주입기 |
| | | 4000 | 반도체웨이퍼 위에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기계 |
| | | 5110 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 5910 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 6010 | 반도체웨이퍼 위에 직접 그리는 기기 |
| | | 20 | 스텝 앤 리피트 얼라이너 |
| | | 91 | 레이저 작동식 기기 |
| | | 99 | 기타 |
| | | 7000 | 반도체 웨이퍼를 습식 식각, 현상, 스트리핑하거나 세척하는 기계 |
| | | 8110 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 8410 | 반도체재료의 건식식각 패턴용의 것 |
| | | 20 | 반도체웨이퍼를 스트리핑하거나 세척하는 기기 |
| | | 90 | 기타 |
| | | 9110 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 9200 | 포토레지스트를 도포ㆍ현상ㆍ경화시키는 기계 |
| | | 9310 | 반도체 웨이퍼가공용의 연마기ㆍ광택기(래핑기를 포함한다) |
| | | 21 | 세번 |
| | | 29 | 세번 |
| | | 90 | 기타 |
| | | 9400 | 웨이퍼ㆍ캐리어ㆍ튜브를 세척하는 기계 |
| | | 9500 | 반도체웨이퍼 위에 테이프를 부착시키는 기계 |
| | | 9600 | 반도체웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 기기 |
| | | 9900 | 기타 |
| | 30 | | 평판디스플레이 제조용 기계와 기기 |
| | | 1000 | 유기발광다이오드(오엘이디) 디스플레이 제조용 |
| | | 2000 | 기타 |
| | | 3010 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 30 | 세번 |
| | | 42 | 세번 |
| | | 43 | 세번 |
| | | 49 | 세번 |
| | | 4010 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 5011 | 세번 |
| | | 19 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 41 | 세번 |
| | | 42 | 세번 |
| | | 49 | 세번 |
| | | 51 | 세번 |
| | | 52 | 세번 |
| | | 59 | 세번 |
| | | 6010 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 30 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | | 7000 | 세번 |
| | | 8000 | 세번 |
| | | 9020 | 세번 |
| | | 90 | 세번 |
| | 40 | | 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기 |
| | | 1010 | 패턴형성기(주로 사진 감광액이 도포된 감광판으로부터 마스크와 레티클을 제조하기 위해 사용되는 것) |
| | | 20 | 마스크와 레티클을 처리ㆍ수리하기 위한 포커스드 이온빔 밀링기 |
| | | 30 | 포토레지스트를 도포ㆍ현상ㆍ경화시키는 기계 |
| | | 40 | 마스크와 레티클을 식각, 세척, 스트리핑하는 기계와 기기 |
| | | 90 | 기타 |
| | | 2010 | 반도체 조립용의 다이 부착기, 테이프자동접착기ㆍ와이어접착기 |
| | | 20 | 반도체 디바이스를 삽입ㆍ제거시키는 기계 |
| | | 31 | 반도체조립용 인캡슐레이션 기기 |
| | | 39 | 기타 |
| | | 40 | 납볼을 반도체 제조용 인쇄회로기판이나 세라믹기판에 탑재하는 기계 |
| | | 50 | 세번 |
| | | 70 | 사출식ㆍ압축식의 고무ㆍ플라스틱 성형용 주형 |
| | | 80 | 반도체 다이를 부착하거나 웨이퍼, 캐리어, 튜브를 세척하는 기계 |
| | | 91 | 굽힘용ㆍ접음용ㆍ교정용ㆍ펼침용 금속가공 공작기계(반도체 리드의 것으로서 프레스를 포함하며, 수치제어식의 여부는 상관없다) |
| | | 92 | 세번 |
| | | 93 | 웨이퍼의 절단 이전에 전체 웨이퍼에 연결접점(범프)을 형성하는 웨이퍼 범핑용 기기 |
| | | 94 | 세번 |
| | | 95 | 저항가열식의 전기식 노(爐)와 오븐 |
| | | 99 | 기타 |
| | | 3010 | 반도체 소자 제조용 웨이퍼, 웨이퍼카셋트, 상자나 그 밖의 물품을 이송, 핸들링 그리고 저장하기 위한 것 |
| | | 20 | 평판디스플레이의 권양(捲揚), 취급, 적하(積荷)나 양하(揚荷)용의 것 |
| | | 90 | 기타 |
| | 90 | | 부분품과 부속품 |
| | | 1010 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 2010 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 3010 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
| | | 30 | 세번 |
| | | 40 | 세번 |
| | | 4010 | 세번 |
| | | 20 | 세번 |
