| 9031 | | | 그 밖의 측정용이나 검사용 기기(이 류에 따로 분류되지 않은 것으로 한정한다)와 윤곽 투영기 |
| | 10 | 0000 | 균형시험기 |
| | 20 | 0000 | 테스트벤치(test bench) |
| | 4 | | 그 밖의 광학식 기기 |
| | 41 | 0000 | 반도체 웨이퍼와 소자(집적회로를 포함한다) 검사용이나 반도체 소자(집적회로를 포함한다) 제조에 사용되는 포토마스크(photomask)나 레티클(reticle) 검사용 |
| | 49 | 0000 | 기타 |
| | 80 | 0000 | 그 밖의 기기 |
| | 90 | 0000 | 부분품과 부속품 |
